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羅茨真空泵

技術說明

在 Puma WY 羅茨真空泵腔體內有兩個同步旋轉的轉子。由于轉子采用特殊設計及精密制造,它們在運行時不會相互或與腔體接觸。這樣無需借助任何工作液即可泵送介質。同步旋轉的兩個轉子由一對齒輪驅動,其位于齒輪箱的軸端,與壓縮腔室相分離。

Panda/Puma

羅茨真空泵

技術說明

在 Puma WY 羅茨真空泵腔體內有兩
個同步旋轉的轉子。由于轉子采用特
殊設計及精密制造,它們在運行時不
會相互或與腔體接觸。這樣無需借助
任何工作液即可泵送介質。同步旋轉
的兩個轉子由一對齒輪驅動,其位于
齒輪箱的軸端,與壓縮腔室相分離。

 與配備水冷密封電機的 COBRA 螺桿
真空泵組合使用,Puma WY 羅茨真
空泵可以使用于半導體行業的眾多領
域,諸如:光伏組件、平板顯示器、
硅生產以及表面處理。
 

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