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Premium Efficiency

我們的 Premium Efficiency 系列真空泵及真空系統解決方案通過高能效與可靠性確??沙掷m性。Premium Efficiency 所展示的是一種全面綜合的解決方案,涵蓋能耗、效率、可靠性、服務及可持續性諸多因素。

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Premium Efficiency - 真空泵效率達到新等級

了解我們針對半導體行業開發的 Premium Efficiency 系列產品解決方案

Premium Efficiency

Busch 推出 Premium Efficiency 品系列

現代工業對于能源效率有著極高要求,為了滿足這一需求,Busch 推出全新的 Premium Efficiency系列真空泵和真空系統解決方案。Busch Premium Efficiency 系列是尖端技術與運行特性的完美結合,為能效樹立起新的標桿。

Premium Efficiency是一種全面綜合的解決方案,涵蓋能耗、效率、可靠性、服務及可持續性諸多優勢因素。

們的 Premium Efficiency系列具有以下特性:

  • 節省能耗高達 40%
  • 集成式技術平臺(采用 Busch 二次壓縮節能技術),同類產品中的最佳能源效率
  • 高可靠性、低維護量 - Bucsh支持服務提供堅強后盾
  • 降低產品使用周期成本
  • 降低碳排放,確保環境的可持續性發展


總效能 - 們的全方位解決方案

選擇我們 Premium Efficiency系列真空泵,您擁有的不僅僅是一流的效能與產品可靠性,還能獲取我們在真空系統領域的豐富經驗及 Bucsh 全方位現場和遠程咨詢服務。


COBRA BC Premium Efficiency系列

COBRA BC -– 應用于半導體工業的真空泵和真空系統解決方案 - 首款 Premium Efficiency 系列 真空泵與真空系統解決方案。Premium Efficiency 技術也將逐漸延伸到其它產品系列。

半導體生產的效率的新高度 - COBRA BC Premium Efficiency

  • 用于半導體制造進出片室(Load-Lock)的理想之選,無污染
  • 物理氣相沉積(PVD)- "濺射"或"濺射沉積"
  • 計量 - 半導體制造工藝的控制和質量保證
  • 光刻(半導體光刻涂敷工藝)


產綠色產品 - Busch 助您一臂之力

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請直接與我們聯系 (Busch ):
+86 (0)21 67 60 08 00 聯系我們
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  • 運行13年 - COBRA BC 創下 GlobalFoundries Fab 1 的里程碑
    持續運行十三年。這相當于以 50Hz 運轉 211 億轉以上。2018年 1 月中旬,COBRA BC 干式螺桿真空泵在一家德國半導體制造廠創下了這一非凡的里程碑,佐證了其在堅固性、可靠性和低維護方面長期享有的美譽。

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